아즈빌, MEMS 가공 기술로 증착 대책 강화한 사파이어 격막진공계 출시

도쿄--(Business Wire / 뉴스와이어) 2023년 02월 20일 --  아즈빌(Azbil Corporation)(도쿄:6845)은 1월 25일부터 MEMS*1 가공 기술로 증착(deposition)*2을 개선하는 사파이어 격막진공계 Model V8을 출시한다고 발표했다.

반도체 제조 기술이 발전하며 전 공정 중 성막, 에칭에 사용되는 가스의 종류도 증가하고 있다.

공정 가스에 따라 사용 중인 진공계의 센서 다이어프램 위에 막이 형성되어 제로점 이동이 발생할 수 있다. 이런 현상은 진공계의 조정 빈도가 늘어 생산 계획에 차질이 생기는 등 반도체 성막, 에칭 장비 업체에는 큰 과제이다.

아즈빌은 새로운 가스를 사용할 때 계속 발생하는 이런 문제를 해결하기 위한 제품을 개발한 바 있다. 더 나은 솔루션을 위해 기존 제품을 전면적으로 재검토하여 센서 구조와 통로 등을 새롭게 적용한 Model V8을 출시했다.

MEMS 기술로 센서 칩 표면을 요철로 가공해 부착 막을 최대한 분단하도록 요철 센서를 개발했다. 기존 플랫(flat) 센서의 응력*3 밸런스를 개선해 센서 다이어프램의 표면이 휘어지지 않도록 개량했다. 그 결과, 제로점 이동량이 당사 기존 제품(사파이어 격막진공계 Model SPG) 대비 1/10로 대폭 개선됐다.

또한 250°C의 높은 온도에서도 사용 가능한 분리형을 새롭게 추가했다. 이로써 원자층 증착(ALD)*4 장비에서 공정 가스 변화로 인해 만들어지는 고온 환경에서도 사용할 수 있다.

특징:

· 내(耐) 증착 성능 향상

MEMS 기술로 센서에 형성된 부착막으로 인한 제로점 이동량이 당사 기존 제품 Model SPG의 10분의 1로 감소했다.

· 최대 250°C의 고온 대응

공정 가스의 변화에 대응할 수 있도록 고온용 분리형 모델 Model V8S를 라인업에 추가했다.

· 콤팩트한 크기

제품 내부 부품의 효율적 배치로 당사 기존 제품 대비 부피를 40% 줄였다.

제품 세부 정보를 보려면 방문하십시오.

https://www.azbil.com/products/factory/factory-product/transmitter/pressure/v8/index.html

아즈빌은 아즈빌 그룹의 이념 ‘인간을 중심으로 한 오토메이션’을 바탕으로 지속 가능한 사회에 ‘직접적으로’ 기여하고 지속 가능한 성장을 확보하는 것을 목표로 한다. 아즈빌은 고객의 요구에 맞는 생산 현장의 문제에 대한 솔루션을 제공한다.

*1 Micro Electro Mechanical Systems의 약자. 미세 전기 및 기계요소를 하나의 칩에 통합하는 센서와 같은 다양한 장치 또는 시스템.

*2 퇴적의 의미. 반도체 제조 공정에서는 박막을 생성하는 성막 공정을 가리킴.

*3 외부 힘을 받을 때 내부에서 생성되는 힘.

*4 Atomic Layer Deposition의 약자. 원자층 증착 기술로 진공을 이용하는 성막 기술 중 하나.

아즈빌 소개

아즈빌(구 아마타케 주식회사)은 측정 및 제어 기술을 사용해 고객의 운영을 더욱 효율적이고 지속 가능하게 만드는 고부가가치 솔루션을 제공하는 빌딩 및 산업 자동화 분야의 선두 기업이다. 1906년에 설립된 아즈빌은 광범위한 산업 분야에서 전 세계 고객에게 서비스를 제공하고 있으며 사람들의 안전, 편안함 및 성취감, 지구 환경 보존에 기여하는 것을 목표로 한다. 2022년 3월 말 기준 아즈빌은 전 세계에 1만 명 이상의 직원을 두고 2560억엔의 수익을 창출했다.

웹페이지: https://www.azbil.com/

사진/멀티미디어 자료: https://www.businesswire.com/news/home/53299423/en

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